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淺談新材料半導體廢氣處理方法及工藝

淺談新材料半導體廢氣處理方法及工藝摘要

隨著新材料行業的發展,全國各地新材料行業的規模也日益擴大,新材料的發展對社會起了積極的作用,然而其對生態環境的破壞也是存在的,影響z大的是有機化合物或毒性物質。新材料行業半導體廢氣處理方法及工藝新材料行業與傳統材料相比,新材料產業具有技術高度密集,研究與開發投入高,產品的附加值高,生產與市場的國際性強,以及應用范圍廣,發展前景好等特點,其研發水平及產業化規模已成為衡量一個國家經濟,社會發展,科技進

隨著新材料行業的發展,全國各地新材料行業的規模也日益擴大,新材料的發展對社會起了積極的作用,然而其對生態環境的破壞也是存在的,影響z大的是有機化合物或毒性物質。

新材料行業半導體廢氣處理方法及工藝

新材料行業與傳統材料相比,新材料產業具有技術高度密集,研究與開發投入高,產品的附加值高,生產與市場的國際性強,以及應用范圍廣,發展前景好等特點,其研發水平及產業化規模已成為衡量一個國家經濟,社會發展,科技進步和國防實力的重要標志,世界各國特別是發達國家都十分重視新材料產業的發展。 作為新材料產業的代表之一,半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

半導體企業酸性或堿性廢氣:酸堿中和處理法。

酸堿廢氣治理工藝流程為: 風管廢氣收集→酸性/堿性廢氣洗滌塔化學洗滌→耐腐蝕風機引風→煙囪排氣達標排放

有機廢氣治理工藝:直接燃燒法

有機廢氣治理工藝流程為: 有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐(TO)→煙囪排氣達標排放

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